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根據潔凈廠房空間的大小取選標準定型的臭氧發生器，將臭氧發生器直接放到空調凈化系統的風道中，稱為內置式臭氧發生器。臭氧隨著風道的氣流送入各潔凈區，對潔凈區進行空間消毒滅菌，剩余臭氧吸入風口，由中央空調帶走。
也可以將臭氧發生器放置在空調機組中，將臭氧打入中央空調的風道中，然后被送到各潔凈室，稱為外置式臭氧發生器。外置式臭氧發生器安裝檢修方便，但制造成本要高一點。兩種方法消毒效果是一樣的。按照衛生部消毒規范，對空氣消毒的臭氧濃度是5ppm,但事實上潔凈區消毒不僅是對空氣的消毒，實際上還包括了設備、器具等物體表面的消毒，所以一般設計濃度為10 ppm，相當于每立方米空氣中臭氧含量20毫克。每天上班前開機兩小時，上班時關機，就可以保證一天內潔凈區的浮游菌和沉降菌達到GMP的要求。