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臭氧發生器中臭氧的濃度對消菌非常重要，但如何檢測濃度呢？臭氧技術采用適時玻璃管腔，該技術氣源系統中臭氧發生器濃度為20mg/L，氧源系統臭氧發生設備濃度為100mg/L，當向臭氧發生器提供液氧作為氣源時，臭氧濃度可達到0.1ppm。
1.紫外吸收法，原理是臭氧對波長λ=254微米的紫外光有較大的稀疏吸收，在此波長下紫外光通過臭氧層時會被衰減，符合定律：I=Ioe-klc，Io-入射光強I在沒有無嗅的氧氣的情況下，光束穿透臭氧后的光強，L-臭氧樣品池光程長度：C-臭氧濃度：K-臭氧對光波長的吸收系數。

2.比色法，是根據臭氧與不同化學試劑之間的顯色或脫色反應程度來確定臭氧濃度的方法。按色度學分為人工色樣色度學和光度計色度學。該方法主要用于檢測水中溶解臭氧的濃度。