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冷卻水的水質要好，防止結垢，以免影響臭氧發生器的散熱效果。
二對水冷發生器采說，為使傳熱表面的結垢最少，冷卻水的水質很重要。結垢會使傳熱效率降低，從而減少臭氧產量，增加維護費用。在技術上自來水是被優先選擇的冷卻劑，不過，對大型工業用發生器所需要的耗水量來說，使用自來水經濟上毫無吸引力，也許只有發生系統用在水處理廠的情況除外。與自來水水質相反，一般處理后的污水作為冷卻水，效果不是很好，因為它容易導致結垢。如果高質量的水或其他流體用在密封的十次冷卻回路中，末級熱交換器又是專門設計得最少結垢；且便于清洗，而且污水出水還可以作為末級散熱使用。為了水費和設備維護費之間的最-佳平衡，系統設計時多數采用冷卻塔水或熱交換器優飲用水（無懸浮固體、氯化物<5mg/L）。